|
Методы диагностики и анализа микро- и наносистем
магистратура
11.04.04 Электроника и наноэлектроника (наноэлектроника; микро- и наноэлектроника)
|
|
|
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Растровая электронная микроскопия
|
|
|
|
|
Лабораторные работы
1. "Математическая обработка и качественный химический анализ в методе рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии"
2. "Локальный анализ методом сканирующей оже-микроскопии"
3. "Профилирование состава твердотельных структур по глубине методами электронной спектроскопии с ионным распылением"
4. "Калибровка растрового электронного микроскопа"
Варианты заданий
|
|